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标题: LED蓝宝石基板参数分析 [打印本页]

作者: fdsadfdsid    时间: 2017-2-8 09:58
标题: LED蓝宝石基板参数分析
1:蓝宝石详细介绍           

蓝宝石的组成为氧化铝(Al2O3),是由三个氧原子和两个铝原子以共价键型式结合而成,其晶体结构为六方晶格结构.它常被应用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane.

由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性.因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上,它具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性熔点高(2045℃)等特点,它是一种相当难加工的材料,因此常被用来作为光电元件的材料。

目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质,而氮化镓磊晶品质则与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关,蓝宝石(单晶Al2O3)C面与Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小,同时符合GaN 磊晶制程中耐高温的要求,使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料.

  分子式  Al2O3
  密度  3.95-4.1克/立方厘米
  晶体结构  六方晶格
  晶格常数   a=4.785Å  , c=12.991Å
  莫氏硬度  9      (仅次于钻石:10)
  熔点  2045℃
  沸点  3000℃
  热膨胀系数  5.8×10-6 /K
  比热   0.418W.s/g/k
  热导率
  25.12W/m/k  (@ 100℃)
  折射率  no  =1.768 ne =1.760
  dn/dt  13x10-6 /K(@633nm)
  透光特性  T≈80%  (0.3~5μm)
  介电常数  11.5(∥c),  9.3(⊥c)





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